凈化車間最關(guān)鍵之的作用源于調(diào)整產(chǎn)品(如硅芯片等)所觸及的空氣的潔凈度等級(jí)及其溫度濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們將之稱為凈化車間。按照慣例,凈化車間的潔凈凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)淮的粒子總數(shù)來規(guī)定。就是說所謂潔凈并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是調(diào)整在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)淮中合乎灰塵標(biāo)淮的顆粒對(duì)于我們常見的灰塵己經(jīng)是小的幾乎為零,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,即便是一丁點(diǎn)的灰塵都可以造成非常大的負(fù)面影響,因此在光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車間潔凈是不可避免的規(guī)定。
凈化車間每立方米將低于0.3微米粒徑的微塵總數(shù)調(diào)整在3500個(gè)以內(nèi),就到達(dá)了國(guó)際性潔凈標(biāo)淮的A級(jí)。目前凈化車間使用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的潔凈標(biāo)淮對(duì)于灰塵的規(guī)定高于A級(jí),凈化車間的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被使用在一些級(jí)別較高芯片加工生產(chǎn)上。5μm及以內(nèi)的微塵總數(shù)被嚴(yán)格把控在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)界通稱的1K級(jí)別。